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气体质量流量控制器用于一进十出用于一进十出多用户配气系统配气系统
2024-08-02

用户需求:1.十路流量监测与控制2.多用户分级权限管理解决方案:通过质量流量控制器和配气箱相结合,实现多路气体的流量监控及控制,系统支持快速启动/关闭全部流量,...

  • 2023-07-27

    从科研实验到工业制造,很多涉及气体应用的行业都可能会使用混合型气体;而且在很多实际应用中,需要进行多种气体定量混合配气,将不同气体按一定的比例混合到一起,配出不同浓度、多种组分的工艺气体后才能更好的满足工艺性能的要求。对于单一组分的气体,选...

  • 2023-07-19

    对于气体质量流量控制器MFC来说,在有些场景,例如半导体相关行业,分析仪器行业,科研实验场景等,需要对气体进行微流控制,使其流量很小,需要小于1SCCM,同时这种微流控制也需要较高的响应时间,因为流量很小,瞬间就会在气路中通过所需的流量,所...

  • 2023-07-13

    气体是电子工业的“血液”,尤其在半导体、光伏、光纤、显示器等行业中是关键性材料。例如,在集成电路制造中气体的占比仅次于硅片,占晶圆制造成本的13%。主要应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺。电子工业涉及的气体品种繁多,用途五花八门,...

  • 2023-07-06

    质量流量计MFM、流量控制器MFC、以及电子压力控制器EPC是精度较高的流量仪表,在科研、医疗、食品、半导体及各行业工业领域有广泛应用。大多数工业应用的流量仪表产品是通过电流或电压模拟信号,或者数字通讯(Modbus、Devicenet,P...

  • 2023-06-29

    质量流量控制器不仅能检测总流量,并且能在检测时自动控制总流量。客户能根据本身的所需设置总流量。一般来说,这种质量流量计仅用作流量测量或监测。该流量控制器采用毛细管传热温差热法原理检测气体质量流量(无气温和负担应对)。传感器受热桥测得的总流量...

  • 2023-06-28

    本文所述的小口径、微小流量液体流量控制器是指流道管径小于2”,流量小于2500Kg/h的小流量;尤其是对管径更小,而流量小于1Kg/h,或者1000ml/h的更小流量的控制。对于液体流量计(只测流量,不控制流量),市场上的种类很多,但是可以...

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