高温气体、液体质量流量控制器MFC及流量计： -- 可快速精确测量过程气体/液体/蒸汽的体积流量/质量流量； -- 采用定制的高速比例控制阀对介质体积流量/质量流量进行精确控制 -- 测量液体时，带有排气孔可轻松排出空气 -- 集成多功能数字显示屏，通过屏幕按钮便可控制设定值及PID阀门调节，开放模拟输入输出和RS-485数字通讯 -- 内部无可移动组件和热元件，通过抗振动测试，对安装方向不敏感。

沉积设备用高温分体气体流量控制器及流量计，采用定制的高速比例控制阀，可快速精确测量高温气体的质量流量，可以以质量单位或体积单位显示流量值，精度0.5%FS。

热式高温分体气体质量流量控制器及流量计，采用定制的高速比例控制阀，可快速精确测量高温气体的质量流量，可以以质量单位或体积单位显示流量值，精度0.5%FS。