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当前位置：首页 > 产品中心 > 气体 质量流量计/控制器 > 全金属密封质量流量计/MFC > ACU20FD-LC-M耐腐蚀金属密封气体质量流量计及流量控制器
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一、耐腐蚀金属密封气体质量流量计及流量控制器 产品概述：
对于一些腐蚀性较高的气体，橡胶类密封无法满足现场应用要求，我司已开发出全金属密封的流量测控产品。同时，配备有高性能电磁比例控制阀，毫秒级快速响应，并且可满足在一定的压力条件下，稳定控制流量，确保良好的精度。
我们也可根据您的应用参数，为您定制PID调节功能，确保在保持低压损的同时实现快速、稳定的控制。
二、产品应用：
真空镀膜 / 太阳能、氢能等新能源 / 半导体 / 石油石化精细化工 / 电力冶金
环保 / 食品包装 / 生物医药 / 新材料 / 工业制作 / 各种分析仪器 / 制气配气系统
三、耐腐蚀金属密封气体质量流量计及流量控制器 产品参数：
满量程范围：2SCCM～30SLM
准 确 度：±0.5%F.S
线 性：±0.5%F.S
重复精度：±0.2%F.S
响应时间：流量控制器：<0.2s
数 字 量：RS232/485，MODBUS协议
模 拟 量：0～5V、4-20mA、1～5V
供 电：±15VDC，24VDC
工作温度：0～50℃
工作压差：0.05~0.3Mpa （流量控制器）
耐 压：3MPa/10MPa
漏 率：1×10-9SCCSHe
温度系数：±0.025%F.S/℃
底座材质：不锈钢
密封材质：金属密封
接 头：φ6，1/8"，1/4"，3/8"，1/2"，1"… …VCR连接
如果所需性能要求与上述性能不同，请另行沟通定制。
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