半导体设备电子气体质量流量计及流量控制器

背景简述：

-- 半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊

材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。

一、ACU20FD-LH 半导体设备电子气体质量流量计及流量控制器 产品概述：

1、精度更高，响应更快，带网口；

2、管状分流，不易堵塞；

3、适用于各种低压和高压管道；

4、预热时间短，零漂小，可靠性高；

5、模拟量输入/输出可使用二次表或流量计算机控制和显示流量；

6、数字通讯RS485/232 Modbus、Profibus、Devicenet等协议可选；

二、产品应用：

真空镀膜 / 太阳能、氢能等新能源 / 半导体 / 石油石化精细化工 / 电力冶金 / 环保

食品包装 / 生物医药 / 新材料 / 工业制作 / 各种分析仪器 / 制气配气系统

三、ACU20FD-LH 半导体设备电子气体质量流量计及流量控制器 产品参数：

量程范围：2SCCM～300SLM

准 确  度：±0.5%F.S

线       性：±0.5%F.S

重复精度：±0.2%F.S

响应时间：流量计：＜0.1s；流量控制器：<0.2s

数 字  量：RS232/485，MODBUS协议 （Profibus、Devicenet等协议可选）

模 拟  量：0～5V、4-20mA、1～5V

供       电：±15VDC，24VDC

工作温度：0～50℃

工作压降：<0.01Mpa(流量计）

工作压差：0.1~0.5Mpa （流量控制器）

耐       压：3MPa/10MPa

漏       率：1×10-9SCCSHe

温度系数：±0.025%F.S/℃

底座材质：不锈钢

封材质：氟橡胶，氯丁橡胶，丁腈橡胶，聚四氟乙烯，FFKM/FFPM，金属密封等

接       头：φ3，φ6，1/8"，1/4"，3/8"，1/2"… …卡套、VCR等。。。

如果所需性能要求与上述性能不同，可以沟通定制。