智能数显压力控制器的特点及应用

　　智能数显压力控制器是专为现场实时显示压力值并控制的智能化仪表；工业级产品设计，高品质压力传感器芯片和电子元器件；具有抗干扰，操作简单等特点。

 

　　一、它的技术特点：

　　1、动态适时控制压力，与传统压力控制器、稳压器相比，此系列智能数字压力控制器可自动控制气体流量，精准控制、保持固定压力值，不存在继电器控制式的响应区间。

　　2、控制精度比传统的机械式开关高，无噪音；

　　3、耐震、抗干扰强、响应快，性能稳定。

 

　　二、技术原理：

　　压力传感器是处于硅芯片表面的压敏电阻桥。该芯片从其背面钻出，给芯片内部形成压力隔膜，其厚度决定压力范围。

　　当压力作用于芯片时，压膜弯曲，电阻桥的电阻值与压力成比例地变化。测量元件通过超薄灵敏的不锈钢隔膜与外部压力隔开，隔膜和测量元件之间的密封腔充满了油。

 

　　三、相关应用：

　　应用范围较广泛，例如，半导体工艺、气相和液相色谱仪，MOCVD过程中蒸汽压力控制，挤塑成型过程中气体压力保护控制，高压釜、反应釜，气密检漏装置等。

　　目前，MKS，Horiba，Alicat，Bronkhorst等进口品牌有此类产品，我司在国产化此类压力控制方面已经积累了大量的实用经验，产品性能基本可以与进口产品媲美。