使用MFC对气体进行微流控制

      对于气体质量流量控制器MFC来说，在有些场景，例如半导体相关行业，分析仪器行业，科研实验场景等，需要对气体进行微流控制，使其流量很小，需要小于1SCCM，同时这种微流控制也需要较高的响应时间，因为流量很小，瞬间就会在气路中通过所需的流量，所以如果MFC的响应时间太慢的话，流量控制就很困难。

       我司的高精度气体质量流量控制器MFC，最小量程可以做到2SCCM（满量程流量），可以控制到0.01SCCM，响应时间＜200ms，很适合微流控制。

       对于这种微流控制，即使是用模拟信号操控，也需要选用数字款流量控制器（既带有数字信号，也带有模拟信号），其内部的处理方式是数字化芯片控制，而模拟款（只带有模拟信号）则只靠电路的线性控制，数字款MFC控制的更稳定、更精确，尤其是对微小流量气体的流量控制，会体现的更明显。

       以下是某客户定制的满量程为5ml/min的流量控制器，演示视频，客户要求流量微小流量控制到0.25ml/min。