小口径、微小流量液体流量控制器的种类

本文所述的小口径、微小流量液体流量控制器是指流道管径小于2"，流量小于2500Kg/h的小流量；尤其是对管径更小，而流量小于1Kg/h，或者1000ml/h的更小流量的控制。

对于液体流量计（只测流量，不控制流量），市场上的种类很多，但是可以精确控制微小液体流量的一体式液体流量控制器就比较少了，大多是采用一个独立的阀跟流量计配合。   

目前市场上，这种一体式闭环自动控制的液体微小流量控制器，主要有三种原理：差压式、热式、以及科里奥利式，并且大部分以进口品牌为主，国产品牌很少。

其中，热式原理的液体流量控制器，主要是半导体行业应用较多，半导体行业的进口设备较多，也会涉及到微小流量的液体流量控制，主要品牌例如horiba的LV-F 和 LF-F系列。

对于科里奥利原理的质量流量计，国内外品牌的产品比较多，但主要是大流量为主，而且只是流量测量功能为主，同时带有一体式流量控制功能的很少，尤其是对微小流量的控制，主要还是进口的品牌。

目前我司的微小流量液体质量流量控制器已经开发了以上三种原理的产品，并已在半导体，新能源，生物医药，化工，发动机研究、科学仪器等行业多有应用。

其中热式和差压式的流量控制器精度是±1%F.S；科氏原理的流量控制器精度在0.25%F.S。

差压式的液体流量控制器的（满量程）流量范围是10ml/min ~ 25L/min；

热式液体流量控制器的（满量程）流量范围2g/h ~ 1000g/h；

科氏质量流量控制器的（满量程）流量范围是20g/h ~ 1000kg/h，适用性比较强，且不受介质的物理特性的影响，对高粘度微小流量同样适用。