质量流量计主要是由质量流量传感器，层流分层件，流量控制器调节阀和放大控制电路等部件组成。它利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分布效应而制成。
它采用毛细管传热前后温度差量热法原理测量气体的质量流量，不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得的差值去驱动控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
质量流量计为何要进行稳压补偿：
常用的流量计大多只能够直接测量流体的体积，并不能直接测量质量，如果只测量流体在当前工况下的体积时，质量流量计仪表可以直接显示出来。但是如果要求流量计显示为流体质量时，需要通过计算即时采样的流体体积参数与密度参数相乘的积而得出结果（质量=密度X体积）而并非直接测量出流体的质量。
质量流量计作为流量仪表，它测量出来的数据一定要准确，如果要测量流体的质量时就涉及到一个问题：就是流体的密度是否恒定。如果流体的密度始终如一，那么只要把流体的密度参数固定在仪表上即可，但是在流体的密度是不断变化的情况下，就要不断地根据当前流体的工况对流体的密度参数进行调整，这种在流量测量中，根据流体工况对流体密度参数的调整的做法就是密度补偿。
所谓的压力补偿实际上就是根据流体工况中的压力参数，来调整流体密度的数值。如果在测量中只根据流体工况中温度或压力两个参数之中的某一个参数来调整密度参数的做法叫温度补偿或压力补偿，但是如果同时根据温度和压力的参数来调整密度的参数做法叫做温度压力补偿。
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